Linienfokusmessung

Die Linienfokusmessung dient der Erhöhung der Prozesssicherheit durch einen optimierten Linienfokus. Um eine stetig hohe Qualität der Prozesse zu garantieren, werden die Linienbreite, die Intensitätsverteilung sowie die Homogenität permanent überwacht. Dabei ist eine schnelle Messung mit hoher Auflösung von Bedeutung.

Der linienförmige Laserfokus mit Längen bis zu 3000 mm erleichtert und beschleunigt die großflächige Bearbeitung vieler Produkte. Insbesondere in der Großserienproduktion muss solch ein Laserwerkzeug regelmäßig charakterisiert und dokumentiert werden. Linienfoki vereinfachen beispielsweise in der Displayindustrie die Herstellung von OLED- oder LED-Displays. Dabei kommen Laser unterschiedlicher Wellenlänge, Linienlänge, Linienbreite und Homogenität zum Einsatz. Um eine stetig hohe Qualität zu garantieren, bietet Metrolux Messgeräte mit der speziellen Beamscan- oder Linescan-Software an, die für diesen Einsatz optimiert sind. Auch für UV-Wellenlängen wie 193 nm stehen mit den Metrolux-UV-Monitoren Systeme zur Vermessung ausgedehnter Flächen- oder Linienfoki zur Verfügung.

Diese Messmethode wird vor allem in Anlagen für die Display- und Halbleiterindustrie eingesetzt.

FM100 – Fokus Monitor 100

Der Fokus Monitor 100 (FM100) ist ein robuster und kompakter Beamprofiler zur Analyse des fokussierten Laserstrahls. Dank seiner Vielseitigkeit wird der FM100 zur regelmäßigen Qualitätskontrolle des Laserstrahls in vielen industriellen Anwendungen eingesetzt.

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Software
Entscheidend für die exakte Vermessung und Analyse von Laserstrahlen ist das perfekte Zusammenspiel von Hardware und Software.
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Metrolux entwickelt passgenaue Sonderbaulösungen nach Ihren individuellen Anforderungen und Wünschen.

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Dr. Dipl.-Phys. Manfred Hettwer

Head of Technical Sales
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